半导体TPU气囊

半导体TPU气囊，主要应用于单片湿法刻蚀机，材质由TPU牛津布和PU气管组成。它的核心作用是：利用气体的可压缩性，通过一个柔性的屏障，来安全地驱动、控制或隔离对纯度要求极高的化学液体。

TPU气囊被称为气动活塞，不同于传统的金属活塞部件，TPU气囊可以避免颗粒污染和金属离子污染。

为什么会气管会选择PU材质呢？

1、主要因为PU材料非常坚韧、耐磨、耐疲劳、能够承受数十万次的反复膨胀和收缩而不破裂。

2、虽然PFA、PTFE化学惰性极强，几乎不析出任何杂质。但机械强度、弹性和抗疲劳性不如PU。

同样TPU牛津布也具有耐磨耐撕裂、耐化学腐蚀、高密封性、轻量化、柔韧性、高洁净度等优点。

苏州展格TPU气囊可以耐到1Mpa气压10分钟无泄漏，经测试0.5MPa反复充气1分钟3000次无泄漏。（测试条件充气5秒，保压60秒，泄漏压检测15秒）。